学术讲座:激光干涉精密位移测量技术及仪器

来源:邓士豪发稿时间:2021-04-29浏览次数:338

报告题目:激光干涉精密位移测量技术及仪器

报告人:陈本永

时间:2021年4月27日 下午13:30

主持人:单鸿波

地点:四号学院楼2004室

报告内容:

激光干涉精密位移测量技术及仪器是高端装备制造和重大科学工程等领域测量数据准确获取的关键基础,例如,精密数控机床超精密加工的定位精度不断提高而运动范围不断增加,微电子制造超大规模集成电路芯片线宽不断缩小而硅晶圆尺寸不断扩大,航空航天装备和重大科学工程中对大尺寸绝对距离测量精度要求不断提高等,均对精密位移测量技术及仪器提出了重大需求。本报告将介绍基于法拉第效应的激光干涉多自由度测量方法,激光相位调制干涉纳米位移测量方法,激光干涉直线度及位移测量方法和激光干涉波长杠杆法绝对距离测量方法等,对精密位移测量技术进行展望与交流探讨。

主讲人介绍:

陈本永,教育部“CJ学者”特聘教授,教育部“微/纳驱动、测量及其应用”创新团队学术带头人,“新世纪百千万人才工程”国家级入选者,浙江省“万人计划”杰出人才,浙江省“151人才工程”重点资助培养人员,浙江省有突出贡献中青年专家,浙江省特级专家,浙江理工大学机械与自动控制学院教授,博士生导师。全国上银优秀机械博士论文奖指导教授,全国“挑战杯”大学生课外学术科技作品竞赛优秀指导教师。先后以第一完成人获国家技术发明二等奖、浙江省科学技术一等奖和浙江省教学成果一等奖等。主持承担了国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目、科学仪器专项、重点项目、重大研究计划培育项目和科技部重点研发计划课题等20余项;发表学术论文70余篇,被SCI收录50多篇,授权发明专利20余项。


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